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德州新聞網(wǎng)訊（記者李榕通訊員韓哲）6月12日，位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目”首臺設(shè)備進場，目前該項目廠房建設(shè)基本完成，已進入設(shè)備搬入及工藝調(diào)試階段。
“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目”是山東省重點項目，項目在北京建有研發(fā)中心及中試線，堅持產(chǎn)品研發(fā)、客戶認證等工作與量產(chǎn)項目建設(shè)同步進行，產(chǎn)品技術(shù)水平實現(xiàn)預期目標，已通過多家客戶認證，目前出貨量達到每月4萬片。該項目總投資62億元，其中一期項目投資25億元，建筑面積7.5萬平方米，已完成主體及配套設(shè)施建設(shè)，預計10月份將完成全部設(shè)備搬入，實現(xiàn)通線量產(chǎn)。一期項目投產(chǎn)后，12英寸硅片產(chǎn)能將達到每年120萬片，填補我國極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)硅襯底基礎(chǔ)材料空白。
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